共聚焦显微镜

     共聚焦显微镜 HSR-8000可对待测物的表面进行非接触式三维形貌扫描，获取2D/3D表面形貌、分析微观轮廓几何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等参数指标，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT/四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


产品性能：

1、高精度、高重复性


采用针孔，共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高；


2、一体化操作的测量分析软件


1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能; 

2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程;


3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程;


4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;


5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能; 

6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

技术参数：

测量原理		针孔共聚焦光学系统
显微物镜		10x,20x,50x,100x
视场范围		120x120㎛~1.2x1.2 mm
扫描帧率		≥4HZ
高度测量	重复性*1	20nm
	精度*1	±(0.2+L/100)㎛
	显示分辨率	0.5nm
宽度测量	重复性*2	40nm
	精度*2	2%
	显示分辨率	Inm
XY位移平台	尺寸	200×200mm
	移动范围	100×100mm
	负载	10kg
	控制方式	电动
Z0轴扫指	范围	10mm
Z0轴扫描步长		20nm-150nm
Z向移动范围		100mm
物镜塔台		5孔电动
光源		白光LED
外形尺寸		540*379*594mm
总重量		45kg
工作电源		AC 220V/50HZ
工作环境		温度10°C~35°C,温度梯度＜1°C/15分钟，湿度30-80%振动＜0.002g,低于15Hz

•1在环境温度20±2°C下用50X物鏡測量4.7㎛标准台阶样块。

•2在环境温度20±2°C下用50X物鏡测量标准刻线样板。